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碳源科技第2台碳化钽（TaC）涂层炉成功交付
发布时间：
2025-05-06
来源：
2025年5月6日上午，碳源科技自主研发的第2台TaC涂层炉成功交付客户
2025年5月6日上午，碳源科技自主研发的第2台TaC涂层炉成功交付客户，标志着公司在高端碳基新材料装备领域再获突破，进一步巩固了行业领先地位。
该设备配置了智能温压调控系统、远程在线操控模块、快冷系统、自动上下料装置、多级超压保护装置、维保提醒功能等，使得设备的装炉量更大、生产周期更短、操作更简单、稳定性更好、安全性更高、维保更方便。经客户实际工艺验证，设备温度均匀性±3℃、炉压调控精度±200Pa，产品涂层的均匀性、结合力、纯度等关键指标均达到领先水平。
碳源科技以“解决客户的产业化难题为使命” ，自建了碳基新材料“装备+工艺”联合验证中心和新材料基础性能试验检测室，拥有一支“既擅长装备、又精通材料”的多学科协同创新研发团队，具备为客户提供“材料技术开发+热工装备研制+样品试验检测+产品代工生产”等一站式服务的能力。
截至目前，碳源科技已累计为半导体行业客户提供碳化硅/碳化钽涂层设备10余套，客户覆盖国内主流碳化硅/碳化钽涂层产品厂家。未来，公司将继续深耕高端涂层与碳基新材料装备领域，以自主创新推动国产高端装备升级，助力中国半导体产业链实现更高水平自主可控。
碳化钽,涂层,半导体
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