渗硅炉
所属分类：
先进陶瓷领域
碳碳/碳陶领域
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一、液相渗硅炉技术特征
1 、配备1级冷凝、3级过滤胶蜡过滤系统，能够有效捕集、过滤尾气中的焦油、粉尘与副产物，防止进入真空泵产生卡泵现象。
2 、配备炉门快速降温功能，加快热场系统内外的热量交换，提高设备的降温速度。
3 、备了反应腔和内外压差控制系统，能够有效降低硅蒸汽对发热体和保温材料的侵蚀，提高发热体和保温材料的使用寿命。
4 、配备可充式无轨电动料车，不用安装轨道，不用开挖地面，不占用车间工作空间，并且可多台设备配备一台料车，降低采购成本。
5 、控制系统智能化程度高，能够实现远程操控、故障报警。（专利号：CN116643545A/CN220085283U；软著证书号：软著登字第12453956 号）
6 、采用独特的测温装置，在保证炉内严苛气氛和真空度的前提下，提高测温精度和测温装置的使用寿命。（专利号：CN202420321316.X）
7 、安全可靠性高。一是设置三级超压保护措施，确保炉压不超过安全限制；二是配备完善的安全互锁功能，在出现异常时系统 能够自动进行应急保护。
二、液相渗硅炉产品规格
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参数\型号 |
卧式构型 |
立式构型 |
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500×500×1500 |
900×900×1300 |
1200×1200×1200 |
1600×1600×3200 |
D1000×H1200 |
D1500×H1600 |
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工作尺寸 （W×H×L/D×H） |
500×500×1500 |
900×900×1300 |
1200×1200×1200 |
1600×1600×3200 |
D1000×H1200 |
D1500×H1600 |
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最高温度(℃) |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
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温度均匀性(℃) |
±5 |
±5 |
±5 |
±10 |
±5 |
±5 |
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极限真空度（Pa） |
10 |
10 |
20 |
20 |
20 |
20 |
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压升率（Pa/h） |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
2 |
2 |
2 |
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加热方式 |
电阻 |
电阻 |
电阻 |
电阻 |
电阻 |
电阻 |
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结构形式 |
卧式-单门/双门 |
卧式-单门/双门 |
卧式-单门/双门 |
卧式-单门/双门 |
立式-上出料/下出料 |
立式-上出料/下出料 |
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炉门锁紧 |
自动 |
自动 |
自动 |
自动 |
自动 |
自动 |
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工艺气氛 |
真空/N2/Ar |
真空/N2/Ar |
真空/N2/Ar |
真空/N2/Ar |
真空/N2/Ar |
真空/N2/Ar |
注： 以上参数可根据客户要求定制，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
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